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1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統[產品打印頁面]

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統
產品型號:
產品展商: 上海升利
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統一個特殊的雙管CVD系統,是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。


1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統  的詳細介紹

技術參數

名稱

1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統

主要參數

·*高工作溫度 1200°C ( < 1 hour )

·正常工作溫度: 1100°C

.電源:208-240VAC,  50/60Hz, 

.加熱區長度: 440mm

.恒溫區長度: 120mm

特點

1.雙石英管:外管直徑100mm ,懸掛的內管直徑 80mm. 金屬箔纏繞在內管的外表面上發生CVD反應。
2.雙管的真空密封法蘭:允許反應氣體通過兩管之間(10mm間隙)發生反應,冷卻氣體直接通入內管.
3.四通道質量流量計控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機械泵。
5.爐子底部裝有滑軌:爐子可以從一端滑向另一端,從而實現快速升溫和降溫

殼體結構

·  高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有極好的溫度均勻性.

·  內爐膛表面涂有進口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命/

·  爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放.

·  密封法蘭系統全不銹鋼制作。

石英管結構

 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm
 內管:OD80 x ID 75 x 1800 mm

真空法蘭

·  一對 SS304不銹鋼法蘭,通過用兩個高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。

·  爐子底部裝有一對滑軌

·  爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻。

·  為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預熱,然后滑到放置樣品的位置。

·  為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置

加熱區

·  總加熱區長度: 900 mm (36")

·  三個溫區: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

·  恒溫區長度: 500 mm( 如果三個溫區在同一個溫度) 

控溫系統

4路精密質子流量計:數字顯示、氣體流量自動控制.

· MFC 1范圍:  0~100 sccm

· MFC 2范圍:  0~200 sccm

· MFC 3范圍:  0~200 sccm

· MFC 4范圍:  0~500 sccm

· 氣路: 4 路

· 流量精度: 0.2%

· 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套

· 一個混氣罐.

· 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制

注意事項

·  爐管內氣壓不可高于0.02MPa

·  由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加**安全

·  當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

·  進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

·  石英管的長時間使用溫度<1100℃

·  對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等

保修期

一年保修,終身技術支持

免責聲明

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